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Medientyp: E-Book Titel: An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering Beteiligte: Güttler, Dominik [VerfasserIn] Erschienen: [Erscheinungsort nicht ermittelbar]: Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, 2009 Sprache: Englisch Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Dresden : Forschungszentrum Dresden-Rossendorf, 2009 Anmerkungen: Beschreibung: [no abstract available] Zugangsstatus: Freier Zugang