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Medientyp: Buch Titel: CVD-Beschichtungstechnik : mit 23 Tabellen Beteiligte: Pritzlaff, Dietmar [VerfasserIn]; Lautner, Volker [VerfasserIn] Erschienen: Saulgau/Württ.: Leuze, 1997 Erschienen in: Engineering coatings Ausgabe: 1. Aufl. Umfang: 220 S; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3874801330 RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik VE 9400 : Allgemeines Schlagwörter: Dünne Schicht > CVD-Verfahren Entstehung: Anmerkungen: Auf d. Umschlag: Pritzlaff/Lautner Literaturverz. S. 195 - 213