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Chau, Kevin [HerausgeberIn] ; SPIE, The International Society for Optical Engineering, Institution of Radio and Electronics Engineers, Australia, Conference on Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics 1999 Ashmore, Queensland

Device and process technologies for MEMS and microelectronics

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Medientyp: Buch; Konferenzbericht
Titel: Device and process technologies for MEMS and microelectronics
Beteiligte: Chau, Kevin [Hrsg.]
Körperschaft: SPIE, The International Society for Optical Engineering ; Institution of Radio and Electronics Engineers, Australia
Veranstaltung: Conference on Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics
Erschienen: Bellingham, Wash.: SPIE, 1999
Erschienen in: SPIE, The International Society for Optical Engineering: Proceedings ; 3892
Umfang: VII, 394 S.; Ill., graf. Darst; 28 cm
Sprache: Englisch
ISBN: 0819434930
RVK-Notation: ZN 1900 : Kongressberichte
Schlagwörter: Microelectromechanical systems Congresses ; Photon detectors Design and construction Congresses ; Photomechanical processes Congresses ; Photolithography Congresses ; Konferenzschrift
Entstehung:
Anmerkungen: Includes bibliographical references and index
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Barcode: 34137937

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