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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Faseroptische Sensoren zur Prozeßüberwachung in der Mikrosystemtechnik Beteiligte: Bröcher, Benno [VerfasserIn] Erschienen: Aachen: Shaker, 2000 Erschienen in: Berichte aus der Produktionstechnik ; 2000,19 Umfang: VIII, 134 S.; Ill., graph. Darst; 21 cm Sprache: Deutsch ISBN: 3826577124 RVK-Notation: ZQ 3120 : Sensortechnik; Sensoren allgemein Schlagwörter: Mikrosystemtechnik > Prozessüberwachung > Multisensor > Faseroptischer Sensor Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Berichte aus der Produktionstechnik