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Medientyp: Buch Titel: Micro process engineering : fundamentals, devices, fabrication, and applications Beteiligte: Kockmann, Norbert [Hrsg.] Erschienen: Weinheim: Wiley-VCH, 2006 Erschienen in: Advanced micro & nanosystems ; 5 Umfang: XXII, 507 S.; Ill., graph. Darst; 25 cm Sprache: Englisch ISBN: 3527312463; 9783527312467 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 1131246 000 RVK-Notation: VN 7000 : Allgemeines ZN 3750 : Mikrosystemtechnik VN 7300 : Allgemeines ZN 4980 : Mikrocontroller, Signalprozessoren Schlagwörter: Chemische Verfahrenstechnik > Mikrosystemtechnik Mikrofluidik Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben Weitere Bestandsnachweise 0 : Advanced micro & nanosystems