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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxid-Schichten für Silizium-Dünnschichtsolarzellen Beteiligte: Hüpkes, Jürgen [VerfasserIn] Erschienen: Jülich: Forschungszentrum Jülich, 2006 Erschienen in: Forschungszentrum Jülich: Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Energietechnik ; 5200 Umfang: XIV, 170 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Deutsch ISBN: 9783893364350; 3893364358 RVK-Notation: ZN 4150 : Dünnschichttechnologie Schlagwörter: Sputtering (Physics) ; Zinc oxide thin films ; Aluminum coating ; Solar cells Materials ; Silicon solar cells ; Doped semiconductors ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2005 Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Schriften des Forschungszentrums Jülich / Reihe Energietechnik