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Medientyp: Buch Titel: Nanophotonics and nanofabrication Beteiligte: Ōtsu, Motoichi [Hrsg.] Erschienen: Weinheim: WILEY-VCH, 2009 Umfang: XVII, 259 S.; Ill., graph. Darst; 240 mm x 170 mm Sprache: Englisch ISBN: 9783527321216; 3527321217 Verlags-, Produktions- oder Bestellnummern: Sonstige Nummer: 1132121 000 RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik ZN 3700 : Mikromechanik (hier auch Nanotechnologie) Schlagwörter: Nanophotonik > Nanotechnologie Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben