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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: An Investigation of Target Poisoning during Reactive Magnetron Sputtering Beteiligte: Güttler, Dominik [VerfasserIn] Erschienen: 2008 [2009] Umfang: Online-Ressource Sprache: Englisch Identifikator: RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Schlagwörter: Hochschulschrift Reproduktionsnotiz: Online-Ausg Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Fak. Mathematik und Naturwiss., Diss., 2009 Anmerkungen: Information zum Bestand: Elektronischer Volltext - Zugang über WWW Zugangsstatus: Freier Zugang Rechte-/Nutzungshinweise: Urheberrechtsschutz