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Medientyp: Buch Titel: Nano-lithography Werktitel: La nanolithographie <engl.> Enthält: Ch. 1. X-ray lithography : fundamentals and applications -- ch. 2. NanoImprint lithography -- ch. 3. Lithography techniques using scanning probe microscopy -- ch. 4. Lithography and manipulation based on the optical properties of metal nanostructures -- ch. 5. Patterning with self-assembling block copolymers -- ch. 6. Metrology for lithography. Beteiligte: Landis, Stefan [Hrsg.] Erschienen: Hoboken, NJ: Wiley, 2011 London: ISTE [u.a.], 2011 Umfang: XXV, 325 S.; Ill., graph. Darst Sprache: Englisch; Französisch ISBN: 9781848212114 RVK-Notation: ZN 4170 : Fotolithographie; Maskierung (Elektronenstrahllithographie; Röntgenstrahllithographie) Schlagwörter: Lithografie > Nanolithografie > MEMS > Halbleitertechnologie Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben