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Medientyp: Buch Titel: Atomic layer deposition of nanostructured materials Beteiligte: Pinna, Nicola [Hrsg.]; Knez, Mato [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Weinheim: Wiley-VCH, 2012 Umfang: XXXVI, 435 S.; Ill., graph. Darst; 240 mm x 170 mm Sprache: Englisch ISBN: 9783527327973; 3527327975 RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Schlagwörter: Atomlagenabscheidung > Nanostrukturiertes Material Atomlagenabscheidung > Nanostrukturiertes Material Entstehung: Anmerkungen: Literaturangaben