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Medientyp:
E-Book;
Hochschulschrift
Titel:
Untersuchungen zur Oberflächenchemie der Atomlagenabscheidung und deren Einfluss auf die Effizienz von Prozessen
Weitere Titel:
Übers. des Hauptsacht.: Investigations about the Surface Chemistry of Atomic Layer Deposition and the Impact on the Efficiency of Processes