> Merkliste Sie können Bookmarks mittels Listen verwalten, loggen Sie sich dafür bitte in Ihr SLUB Benutzerkonto ein.
Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Mikrostrukturierungstechniken zur Herstellung von MEMS aus Halbleitern großer Bandlücke Beteiligte: Niebelschütz, Florentina [Verfasser]; Ambacher, Oliver [Akademischer Betreuer]; Hein, Matthias [Akademischer Betreuer]; As, Donat Josef [Akademischer Betreuer] Erschienen: Ilmenau: Universitätsbibliothek Ilmenau, 2010 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: RVK-Notation: ZN 375 Schlagwörter: MEMS > Resonator > Galliumnitrid > Heterostruktur > Halbleitersubstrat > Siliciumcarbid > Ätzen > Prozessoptimierung Entstehung: Hochschulschrift: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2009 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang