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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Neuartige Ausheilverfahren in der SOI-CMOSFET-Technologie Beteiligte: Illgen, Ralf [Verfasser]; Gerlach, Gerald [Akademischer Betreuer]; Stenzel, Roland [Akademischer Betreuer] Erschienen: Dresden: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden; Dresden: Technische Universität Dresden, 2011 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: RVK-Notation: ZN 4156 : Schichtstrukturierung Schlagwörter: Transistor ; Drain ; Planartransistor ; Kur ; Technologie ; Ionenimplantation ; Bauelement ; VLSI ; Blitzlampe ; Lasertempern ; CMOS ; Kurzzeitausheilung ; Millisekundenausheilung ; Laserausheilung ; Blitzlampenausheilung ; SOI ; CMOSFET ; short time annealing ; millisecond annealing ; laser annealing ; flash lamp annealing ; Hochschulschrift Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2011 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang