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Medientyp: E-Book Titel: Entwicklung eines Back-End-Prozesses für eine vollständig CMOS-kompatible Integration nanoskaliger Drucksensoren Beteiligte: Kontis, Christopher [Verfasser]; Fiedler, Horst L. [Akademischer Betreuer]; Horstmann, John Thomas [Gutachter] Erschienen: Dortmund: Universitätsbibliothek Dortmund, 2018 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: Schlagwörter: CMOS ; Drucksensor ; Transistor ; Drain ; Integration ; Silicium ; Halbleiter Entstehung: Hochschulschrift: Dissertation, Dortmund, Technische Universität, 2018 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang