Zschenderlein, Uwe
[VerfasserIn]
;
Wunderle, Bernhard
[AkademischeR BetreuerIn];
Wunderle, Bernhard
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft];
Meyendorf, Norbert
[Sonstige Person, Familie und Körperschaft]
Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium