Entwicklung von siliziumbasierten Mikro-Schaltern zur Realisierung von reproduzierbaren Array-Verschaltungen: development of silicon-based micro-switches for the realization of reproducible array interconnections

Medientyp: E-Book

Titel: Entwicklung von siliziumbasierten Mikro-Schaltern zur Realisierung von reproduzierbaren Array-Verschaltungen : development of silicon-based micro-switches for the realization of reproducible array interconnections

Beteiligte: Schwarz, Markus [Verfasser]

Erschienen: Saarbrücken: Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek, 2021

Umfang: Online-Ressource

Sprache: Deutsch

DOI: 10.22028/D291-34216

Identifikator:

Schlagwörter: SOI-Technik ; Schalter ; Array ; Wafer ; Mikroschaltung ; MEMS ; Mikroschalter ; SOI-Technology ; microswitch

Entstehung:

Hochschulschrift: Dissertation, Saarbrücken, Universität des Saarlandes, 2021

Anmerkungen:

Zugangsstatus: Freier Zugang

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