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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: An investigation of target poisoning during reactive magnetron sputtering Beteiligte: Güttler, Dominik [Verfasser] Erschienen: Online-Ausg.:: 2009, [2009] Sprache: Englisch Identifikator: RVK-Notation: UP 7550 : Herstellung dünner Schichten incl. Epitaxie-Schichten, Dünnschichttechnik Schlagwörter: Hochschulschrift Art der Reproduktion: Online-Ausg.: Reproduktionsnotiz: [Online-Ausg.] Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Techn. Univ., Diss., 2009 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang