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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Surface Gradient Integrated Profiler for X-ray and EUV Optics—Calibration of the rotational angle error of the rotary encoders Beteiligte: Higashi, Yasuo; Takaie, Yuichi; Endo, Katsuyoshi; Kume, Tatsuya; Enami, Kazuhiro; Yamauchi, Kazuto; Yamamura, Kazuya; Sano, Yasuhisa; Ueno, Kenji; Mori, Yuzo Erschienen: AIP, 2007 Erschienen in: AIP Conference Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1063/1.2436165 ISSN: 0094-243X Entstehung: Anmerkungen: