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Thomas, Jürgen; Ramm, Jürgen; Gemming, Thomas

Elektronenbeugung zur Analyse dünner Funktionsschichten : Standardmethode im Transmissionselektronenmikroskop : Standardmethode im Transmissionselektronenmikroskop

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  • Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Elektronenbeugung zur Analyse dünner Funktionsschichten : Standardmethode im Transmissionselektronenmikroskop : Standardmethode im Transmissionselektronenmikroskop
  • Beteiligte: Thomas, Jürgen; Ramm, Jürgen; Gemming, Thomas
  • Erschienen: Wiley, 2012
  • Erschienen in: Vakuum in Forschung und Praxis
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1002/vipr.201200508
  • ISSN: 0947-076X; 1522-2454
  • Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Condensed Matter Physics
  • Entstehung:
  • Anmerkungen:
  • Beschreibung: <jats:title>Abstract</jats:title><jats:p>Nach einem kurzen geschichtlichen Überblick werden einige Grundlagen der Elektronenbeugung in der Transmissionselektronenmikroskopie erläutert: Elektronen als Wellen, Braggsches Gesetz, Feinbereichs‐ und Feinstrahlbeugung. Die Möglichkeiten der am häufigsten benutzten Feinbereichsbeugung werden anhand von zwei typischen Beispielen demonstriert: Ermittlung der kristallografischen Orientierung in einkristallinen Schichten (piezoelektrisches LiTaO3) und Phasenanalyse in polykristallinen Gefügen (Ni‐Al‐O‐Hartstoffschichten).</jats:p>