Optische Schichtdickenbestimmung : Exaktere Messung der Dicke transparenter Schichten durch Verbesserung der Schnellen Fouriertransformation
: Exaktere Messung der Dicke transparenter Schichten durch Verbesserung der Schnellen Fouriertransformation
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Medientyp:
E-Artikel
Titel:
Optische Schichtdickenbestimmung : Exaktere Messung der Dicke transparenter Schichten durch Verbesserung der Schnellen Fouriertransformation
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Exaktere Messung der Dicke transparenter Schichten durch Verbesserung der Schnellen Fouriertransformation
Beschreibung:
<jats:title>Abstract</jats:title><jats:p>Die diskrete Fouriertransformation in Form der Schnellen Fouriertransformation (Fast Fourier Transform FFT) basiert auf zwei unabhängigen Variablen ν und <jats:italic>t</jats:italic>. Bei der Schichtdickenmessung ist diese Unabhängigkeit nicht mehr gegeben, weil der Brechungsindex <jats:italic>n</jats:italic> des Schichtmaterials eine Funktion von ν ist, <jats:italic>n</jats:italic> = <jats:italic>n</jats:italic>(ν), wodurch die Variable <jats:italic>t</jats:italic> auch eine Funktion von ν wird, <jats:italic>t</jats:italic> = <jats:italic>t</jats:italic>(ν). Dieses Problem verstärkt insbesondere den Leakage‐Effekt der diskreten Fouriertransformation und führt zu Fehlern in der Dickenbestimmung von bis zu 5 % bei hochbrechenden Materialien wie Silizium. Eine einfache, aber effiziente Korrektur der Formel zur Schichtdickenberechnung in der FFT führt zur Reduktion des Fehlers auf unter 2 % bei hochbrechenden Materialien und unter 1 % bei allen anderen Materialien.</jats:p>