• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Distributional reinforcement learning for run-to-run control in semiconductor manufacturing processes
  • Beteiligte: Ma, Zhu; Pan, Tianhong
  • Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2023
  • Erschienen in: Neural Computing and Applications
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1007/s00521-023-08760-1
  • ISSN: 0941-0643; 1433-3058
  • Schlagwörter: Artificial Intelligence ; Software
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: