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Medientyp: E-Artikel Titel: Distributional reinforcement learning for run-to-run control in semiconductor manufacturing processes Beteiligte: Ma, Zhu; Pan, Tianhong Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2023 Erschienen in: Neural Computing and Applications Sprache: Englisch DOI: 10.1007/s00521-023-08760-1 ISSN: 0941-0643; 1433-3058 Schlagwörter: Artificial Intelligence ; Software Entstehung: Anmerkungen: