• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Improved homogeneity of plasma and coating properties using a lance matrix gas distribution in MW-PECVD
  • Beteiligte: Kirchheim, Dennis; Wilski, Stefan; Jaritz, Montgomery; Mitschker, Felix; Oberberg, Moritz; Trieschmann, Jan; Banko, Lars; Brochhagen, Markus; Schreckenberg, Rabea; Hopmann, Christian; Böke, Marc; Benedikt, Jan; de los Arcos, Teresa; Grundmeier, Guido; Grochla, Dario; Ludwig, Alfred; Mussenbrock, Thomas; Brinkmann, Ralf Peter; Awakowicz, Peter; Dahlmann, Rainer
  • Erschienen: Springer Science and Business Media LLC, 2019
  • Erschienen in: Journal of Coatings Technology and Research
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1007/s11998-018-0138-4
  • ISSN: 1547-0091; 1935-3804
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: