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Medientyp: E-Artikel Titel: Surface gradient integrated profiler for X-ray and EUV optics Beteiligte: Higashi, Yasuo; Takaie, Yuichi; Endo, Katsuyoshii; Kume, Tatsuya; Enami, Kazuhiro; Yamauchi, Kazuhiro; Yamamura, Kazuya; Yamauchi, Kazutoi; Sano, Yasuhisa; Ueno, Kenji; Mori, Yuzo Erschienen: Informa UK Limited, 2007 Erschienen in: Science and Technology of Advanced Materials Sprache: Englisch DOI: 10.1016/j.stam.2007.02.011 ISSN: 1878-5514; 1468-6996 Schlagwörter: General Materials Science Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang