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Medientyp: E-Artikel Titel: Surface preparation of Si substrates for epitaxial growth Beteiligte: Miki, K; Sakamoto, K; Sakamoto, T Erschienen: Elsevier BV, 1998 Erschienen in: Surface Science Sprache: Englisch DOI: 10.1016/s0039-6028(98)00131-9 ISSN: 0039-6028 Schlagwörter: Materials Chemistry ; Surfaces, Coatings and Films ; Surfaces and Interfaces ; Condensed Matter Physics Entstehung: Anmerkungen: