• Medientyp: E-Artikel
  • Titel: Assessing Ultrathin Wafer-Scale WS2 as a Diffusion Barrier for Cu Interconnects
  • Beteiligte: El Kazzi, Salim; Lum, Ya Woon; Erofeev, Ivan; Vajandar, Saumitra; Pasko, Sergej; Krotkus, Simonas; Conran, Ben; Whear, Oliver; Osipowicz, Thomas; Mirsaidov, Utkur
  • Erschienen: American Chemical Society (ACS), 2023
  • Erschienen in: ACS Applied Electronic Materials
  • Sprache: Englisch
  • DOI: 10.1021/acsaelm.3c00809
  • ISSN: 2637-6113
  • Schlagwörter: Materials Chemistry ; Electrochemistry ; Electronic, Optical and Magnetic Materials
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