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Medientyp: E-Artikel Titel: Robust, High-Density Zinc Oxide Nanoarrays by Nanoimprint Lithography-Assisted Area-Selective Atomic Layer Deposition Beteiligte: Suresh, Vignesh; Huang, Meiyu Stella; Srinivasan, M. P.; Guan, Cao; Fan, Hong Jin; Krishnamoorthy, Sivashankar Erschienen: American Chemical Society (ACS), 2012 Erschienen in: The Journal of Physical Chemistry C Sprache: Englisch DOI: 10.1021/jp307152s ISSN: 1932-7447; 1932-7455 Schlagwörter: Surfaces, Coatings and Films ; Physical and Theoretical Chemistry ; General Energy ; Electronic, Optical and Magnetic Materials Entstehung: Anmerkungen: