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Medientyp: E-Artikel Titel: Mold Design and Fabrication for Surface Relief Gratings by Glass Nanoimprint Beteiligte: Mori, Toshiharu; Kimoto, Yoshihisa; Kasa, Haruya; Kintaka, Kenji; Hotou, Norihito; Nishii, Junji; Hirai, Yoshihiko Erschienen: IOP Publishing, 2009 Erschienen in: Japanese Journal of Applied Physics Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1143/jjap.48.06fh20 ISSN: 0021-4922; 1347-4065 Schlagwörter: General Physics and Astronomy ; General Engineering Entstehung: Anmerkungen: