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Medientyp: E-Artikel Titel: Greenwood–Williamson Model Combining Pattern-Density and Pattern-Size Effects in CMP Beteiligte: Vasilev, Boris; Rzehak, Roland; Bott, Sascha; Kucher, Peter; Bartha, Johann W. Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2011 Erschienen in: IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1109/tsm.2011.2107756 ISSN: 0894-6507; 1558-2345 Entstehung: Anmerkungen: