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Medientyp: E-Artikel Titel: Multi-SWD Plasma Jet System for PECVD Deposition of Thin Films Beteiligte: Olejnicek, Jiri; Cada, Martin; Smid, Jiri; Kment, Stepan; Hubicka, Zdenek Erschienen: Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE), 2014 Erschienen in: IEEE Transactions on Plasma Science Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1109/tps.2014.2314214 ISSN: 0093-3813; 1939-9375 Schlagwörter: Condensed Matter Physics ; Nuclear and High Energy Physics Entstehung: Anmerkungen: