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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Characterization of thin and ultrathin polymer and resist films Beteiligte: Goldfarb, Dario L.; Lin, Qinghuang; Angelopoulos, Marie; Soles, Christopher L.; Lin, Eric K.; Wu, Wen-li Erschienen: SPIE, 2001 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.436863 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: