• Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht
  • Titel: Aspheric Surface Fabrication in nm-level Accuracy by Numerically Controlled Plasma Chemical Vaporization Machining (CVM) and Elastic Emission Machining (EEM)
  • Beteiligte: Yamamura, Kazuya; Mimura, Hidekazu; Yamauchi, Kazuto; Sano, Yasuhisa; Saito, Akira; Kinoshita, Takehiko; Endo, Katsuyoshi; Mori, Yuzo; Souvorov, Alexei; Yabashi, Makina; Tamasaku, Kenji; Ishikawa, Tetsuya
  • Erschienen: SPIE, 2002
  • Erschienen in: SPIE Proceedings
  • Umfang:
  • Sprache: Nicht zu entscheiden
  • DOI: 10.1117/12.453749
  • ISSN: 0277-786X
  • Entstehung:
  • Anmerkungen: