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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Influence of process variation on the functionality of a high-pressure sensor Beteiligte: Muchow, Joerg; Kretschmann, Andre; Henn, Ralf; Skrobanek, Klaus; Finkbeiner, Stefan; Krauss, Hans R. Erschienen: SPIE, 2002 Erschienen in: Design, Test, Integration, and Packaging of MEMS/MOEMS 2002 Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.462804 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: