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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Development of a figure correction method having spatial resolution close to 0.1 mm Beteiligte: Mori, Yuzo; Yamauchi, Kazuto; Yamamura, Kazuya; Mimura, Hidekazu; Sano, Yasuhisa; Saito, Akira; Endo, Katsuyoshi; Souvorov, Alexei; Yabashi, Makina; Tamasaku, Kenji; Ishikawa, Tetsuya Erschienen: SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.520825 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: