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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Simulation of technological process of microstructures etching in high-voltage gas discharge plasma Beteiligte: Kazanskiy, Nikolay L.; Kolpakov, Vsevolod A. Erschienen: SPIE, 2004 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.562655 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: