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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Anodically bonded silicon-glass optical chip for biochemical sensing applications Beteiligte: De Stefano, Luca; Malecki, Krzysztof; Moretti, Luigi; Rendina, Ivo Erschienen: SPIE, 2005 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.591696 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: