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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Influence of high-energy electron irradiation on ultra-low-k characteristics and transistor performance Beteiligte: Steidel, Katja; Choi, Kang-Hoon; Freitag, Martin; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Seidel, Robert; Thrun, Xaver; Werner, Thomas Erschienen: SPIE, 2013 Erschienen in: Alternative Lithographic Technologies V Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2011467 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: