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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Laser thin film ablation with multiple beams and tailored beam profiles Beteiligte: Rung, Stefan; Bischoff, Christian; Jäger, Erwin; Umhofer, Udo; Hellmann, Ralf Erschienen: SPIE, 2014 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.2038572 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: