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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Effects of crosslinking agent on lithographic performance of negative-tone resists based on poly(p-hydroxystyrene) Beteiligte: Lin, Qinghuang; Katnani, Ahmad D.; Willson, C. Grant Erschienen: SPIE, 1997 Erschienen in: Advances in Resist Technology and Processing XIV Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.275897 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: