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Medientyp: Elektronischer Konferenzbericht Titel: Active and passive components of 3D integrated optics Beteiligte: Waechter, Christoph A.; Bauer, Th.; Cumme, Matthias; Dannberg, Peter; Elflein, Wilhelm; Henning, Thomas; Streppel, Ulrich; Karthe, Wolfgang Erschienen: SPIE, 2000 Erschienen in: SPIE Proceedings Umfang: Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1117/12.379943 ISSN: 0277-786X Entstehung: Anmerkungen: