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Medientyp: E-Artikel Titel: Evaluation of Surface Cleaning Procedures for CTGS Substrates for SAW Technology with XPS Beteiligte: Brachmann, Erik; Seifert, Marietta; Oswald, Steffen; Menzel, Siegfried; Gemming, Thomas Erschienen: MDPI AG, 2017 Erschienen in: Materials Sprache: Englisch DOI: 10.3390/ma10121373 ISSN: 1996-1944 Schlagwörter: General Materials Science Entstehung: Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang