Media type: Book Title: Jenaer Arbeiten zur Elektronenstrahl-Lithographie Added work: 1. Aufl. Contributor: Hahmann, Peter [Author] imprint: Jena: Verl. Vopelius, 2014 Extent: 167 S.; Ill., graph. Darst Language: German ISBN: 9783939718796 RVK notation: ZN 3134 : Geschichte der Elektronik und Mikroelektronik Keywords: Jena > Elektronenstrahllithografie > Vistec Electron Beam GmbH Origination: Footnote:
Departmental Library DrePunct – open access area Shelf-mark: ZN 3134 H148 Item ID: 34610646 Status: Loanable