Media type: Article Title: Geräteentwicklungen für die Fotolithografie bei Carl Zeiss Jena : Alexander Heyroth zum 80. Geburtstag gewidmet Contributor: Gommel, Karl-Werner [Author] imprint: 2007 Published in: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte ; 10(2007), Seite 155-174 Language: German ISSN: 2198-6746 RVK notation: NW 6075 : Physikalische, chemische, feinmechanische und optische Instrumente Keywords: Jenoptik Carl Zeiss Jena GmbH > Fotolithografie > Geschichte Origination: Footnote: Literaturangaben