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Medientyp: Buch Titel: Sputtering by particle bombardment / ed. by R. Behrisch 1, Physical sputtering of single-element solids / with contrib. by H. H. Andersen ... Beteiligte: Andersen, Hans Henrik [Sonstige Person, Familie und Körperschaft] Erschienen: Berlin; Heidelberg: Springer, 1981 Erschienen in: Sputtering by particle bombardment / ed. by R. Behrisch ; 1 Topics in applied physics ; 47 Umfang: X, 281 S.; graph. Darst Sprache: Englisch ISBN: 3540105212; 0387105212 RVK-Notation: UP 9350 : Ionenimplantation allgemein, Etching, Sputtering UD 9450 : Topics in applied physics Entstehung: Anmerkungen: Weitere Bestandsnachweise 0 : Topics in applied physics