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Medientyp: Buch; Hochschulschrift Titel: A fast ion beam pattern generator Beteiligte: Slingerland, Hendrik N. [VerfasserIn] Erschienen: 1988 Umfang: 176 S. Sprache: Englisch Schlagwörter: Fotolithografie > Ionenmikrostrahl Entstehung: Hochschulschrift: Delft, Techn. Univ., Diss., 1988 Anmerkungen:
Bereichsbibliothek DrePunct – Magazin Signatur: 0990 00603 001 Barcode: 31271271 Status: Ausleihbar, bitte bestellen > Bestellen möglich - bitte anmelden Bereitstellung voraussichtlich: 1 - 2 Tage nach Bestellung