Silicon processing for the VLSI era / 1, Process technology - [2. ed.]

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Medientyp: Buch
Titel: Silicon processing for the VLSI era / Stanley Wolf and Richard N. Tauber
1, Process technology
Beteiligte: Wolf, Stanley [VerfasserIn]; Tauber, Richard N. [VerfasserIn]
Erschienen: Sunset Beach, Calif.: Lattice Pr., 2000
Erschienen in: Silicon processing for the VLSI era / Stanley Wolf and Richard N. Tauber ; 1,2
Ausgabe: 2. ed.
Umfang: XXXVI, 890 S.; Ill., graph. Darst
Sprache: Englisch
ISBN: 0961672161
RVK-Notation: ZN 4100 : Allgemeines
Schlagwörter: Silicium > VLSI > Technologie
Halbleitertechnologie > Silicium > Integrierte Schaltung
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