Krey, Maximilian
[VerfasserIn];
Hähnlein, Bernd
[VerfasserIn];
Tonisch, Katja
[VerfasserIn];
Krischok, Stefan
[VerfasserIn];
Töpfer, Hannes
[VerfasserIn]
Automated parameter extraction of ScAlN MEMS devices using an extended Euler-Bernoulli beam theory