• Medientyp: Buch; Hochschulschrift
  • Titel: Untersuchung von Airborne Molecular Contaminations in der Halbleiterindustrie
  • Beteiligte: Franze, Peter [VerfasserIn]
  • Körperschaft: Technische Universität Dresden
  • Erschienen: Dresden, [2024?]
  • Umfang: 134 Blätter; Illustrationen, Diagramme
  • Sprache: Deutsch
  • RVK-Notation: ZN 3460 : Halbleiterwerkstoffe
  • Schlagwörter: Hochschulschrift
  • Entstehung:
  • Hochschulschrift: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2024
  • Anmerkungen: Tag der Verteidigung: 10.01.2024

Exemplare

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  • Signatur: 2024 4 000698
  • Barcode: 34561084
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  • Signatur: 2024 4 000697
  • Barcode: 34561083
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