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Medientyp: Buch Titel: Electrolytic in-process dressing (ELID) technologies : fundamentals and applications Beteiligte: Ohmori, Hitoshi [Hrsg.] Erschienen: Boca Raton, Fla. [u.a.]: CRC Press, c 2011 Umfang: XIII, 249 S.; Ill., graph. Darst; 24 cm Sprache: Englisch ISBN: 9781439800362; 1439800367 RVK-Notation: ZM 8330 : Spanen mit geometrisch unbestimmten Schneiden allgemein Schlagwörter: Semiconductor wafers Finishing ; Semiconductors Polishing ; Electrolytic grinding Entstehung: Anmerkungen: Includes bibliographical references and index