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Medientyp: E-Book; Hochschulschrift Titel: Ortsaufgelöste Messung der Gitterverspannungen in Halbleitern mittels Dunkelfeld off-axis Elektronenholographie Beteiligte: Sickmann, Jan [Verfasser]; LICHTE, HANNES [Akademischer Betreuer]; Koch, Christoph T. [Akademischer Betreuer] Erschienen: Dresden: Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden; Dresden: Technische Universität Dresden, 2015 Umfang: Online-Ressource Sprache: Deutsch Identifikator: RVK-Notation: UH 6300 : Transmissionselektronenmikroskopie insgesamt, Allgemeines Schlagwörter: Mechanische Spannung ; Halbleiter ; Elektronenholografie ; Messung ; Raumauflösung ; Dunkelziffer ; Transistor ; Berry-Phase ; Beugung ; Hologramm ; Deckschicht ; Drain ; Transmissionselektronenmikroskopie ; Dunkelfeldholographie ; Geometrische Phase ; Gitterverspannung ; Dehnungsmessung ; mechanisch verspannte Halbleiterstrukturen ; transmission electron microscopy ; dark-field electron holography ; geometric phase ; lattice strain ; strain mapping ; strained semiconductor devices ; Entstehung: Hochschulschrift: Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2014 Anmerkungen: Zugangsstatus: Freier Zugang