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Medientyp: E-Artikel Titel: A multi-degree-of-freedom micromirror utilizing inverted-series-connected bimorph actuators Beteiligte: Todd, Shane T; Jain, Ankur; Qu, Hongwei; Xie, Huikai Erschienen: IOP Publishing, 2006 Erschienen in: Journal of Optics A: Pure and Applied Optics Sprache: Nicht zu entscheiden DOI: 10.1088/1464-4258/8/7/s10 ISSN: 1464-4258; 1741-3567 Schlagwörter: Atomic and Molecular Physics, and Optics Entstehung: Anmerkungen: